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德國inficon熱電離真空計BAG552
點擊次數(shù):115 更新時間:2024-11-19
 

德國inficon熱電離真空計BAG552

 

對于需要獨立熱離子計技術(shù)的應用,Trigon™ 系列包括單一技術(shù) Bayard-Alpert 熱離子計 BAG552。

BAG552 設計用于壓力范圍為 5 × 10 -10  ... 2 x 10 -2  mbar 的氣體真空測量。支持的雙燈絲提供BAG552的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列VGC501、VGC502、VGC503結(jié)合使用。

inficon熱電離真空計BAG552優(yōu)點

üPure Bayard-Alpert 測量系統(tǒng)適用于較寬的 UHV HV 測量范圍

ü2 條用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的燈絲

ü電隔離電子器件以避免雜散電流

ü滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結(jié)

ü由于可拆卸校準數(shù)據(jù)芯片,可烘烤性更長

ü設定點繼電器

ü明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面

ü模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

üRoHS 合規(guī)性

inficon熱電離真空計BAG552典型應用

ü ·半導體工藝中的壓力測量

ü ·工業(yè)涂料

ü ·高真空至BAG552真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

inficon熱電離真空計BAG552規(guī)格

測量范圍(空氣、O 2、CO、N 2: 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴

準確性:  

1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 讀數(shù)

重復性: 讀數(shù)的 5%10 -8 … 2 × 10 -2 mbar(穩(wěn)定 10 分鐘后)

暴露于真空的材料: 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢

 

 


 
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